作為半導(dǎo)體行業(yè)的關(guān)鍵元件，晶圓在半導(dǎo)體加工工序中需要在各個處理站之間快速、精確的傳送。

現(xiàn)代的科技技術(shù)已經(jīng)可以生產(chǎn)出納米級厚度的晶圓，如此昂貴、精密、易碎的晶圓在傳送過程中，如果依靠人工操作，很容易被損壞，且過程中會使晶圓表面受到污染。所以，真空機(jī)器人——真空晶圓搬送機(jī)械臂成為晶圓制造的核心設(shè)備之一。其性能的優(yōu)劣直接影響晶圓的生產(chǎn)效率和制造質(zhì)量，體現(xiàn)著整個加工系統(tǒng)的自動化程度和可靠性。

納博特斯克為了滿足真空晶圓搬送設(shè)備的潔凈度和穩(wěn)定性需求，推出了唇形真空密封件與精密減速機(jī)RV™緊湊融合而成的齒輪頭單元——HR系列。該系列產(chǎn)品因采用不會破裂的接觸式唇形密封件，結(jié)構(gòu)緊湊，且安裝、使用方便，可有效縮短FPD搬運用機(jī)器人、晶圓搬運裝置的組裝時間，且有相當(dāng)高的安全性。

內(nèi)部搭載的納博特斯克精密減速機(jī)RV™產(chǎn)品在精密減速機(jī)領(lǐng)域中已有30年以上的實績，被廣泛應(yīng)用在世界范圍內(nèi)的制造業(yè)設(shè)備中。作為工業(yè)機(jī)器人關(guān)節(jié)部位的核心零部件，有著高精度、高剛性同時兼?zhèn)湫⌒?、輕量的特點，在實現(xiàn)精密動作的同時，為設(shè)備提供強(qiáng)大的承載能力。根據(jù)不同的安裝需求可替換組件品單元RV™系列/附帶對應(yīng)多個公司伺服電機(jī)安裝零件的RD2系列作為內(nèi)部減速機(jī)的型號。

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【應(yīng)用場景】

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納博特斯克旨在為客戶自動化設(shè)備的緊湊化和簡單設(shè)計、制作、組裝提供更加優(yōu)秀的解決方案。

今后，納博特斯克也會再接再厲為客戶著想，本著客戶的需求繼續(xù)開發(fā)新的產(chǎn)品陣容。

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關(guān)于納博特斯克

納博特斯克集團(tuán)下屬的精密機(jī)械公司是精密擺線針輪減速機(jī)制造商，生產(chǎn)高性能減速機(jī)、中空軸減速機(jī)等各類高精尖產(chǎn)品。其生產(chǎn)的精密減速機(jī)具有高扭矩、高剛性、高耐過載沖擊荷載能力，兼有高精密和超低的背隙。上海納博特斯克(Nabtesco)傳動設(shè)備有限公司是2013年由上海機(jī)電股份有限公司和日本納博特斯克株式會社出資共同成立的一家面向中國市場提供精密減速機(jī)RV™產(chǎn)品及其技術(shù)服務(wù)的合資公司?？偛吭O(shè)立于中國上海，在廣州等多個城市設(shè)有銷售辦公室。

目前，納博特斯克的精密減速機(jī)RV™產(chǎn)品已在汽車生產(chǎn)、機(jī)床、半導(dǎo)體制造、食品工廠、醫(yī)療設(shè)備、搬運設(shè)備、檢測設(shè)備等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。

納博特斯克作為精密減速機(jī)RV™產(chǎn)品的創(chuàng)立者，致力于不斷地產(chǎn)品創(chuàng)新，并始終堅持用獨到的傳動技術(shù)，為工業(yè)自動化產(chǎn)品提供安全、可靠、方便使用的高品質(zhì)產(chǎn)品。以 “強(qiáng)力，細(xì)致，靈敏，站在產(chǎn)品制造前沿”為驅(qū)動，依靠已有的技術(shù)和知識，并進(jìn)一步加強(qiáng)對本土客戶的技術(shù)服務(wù)能力，幫助客戶提升生產(chǎn)效率，降低綜合成本，創(chuàng)造更高價值。

“上海納博特斯克傳動設(shè)備有限公司順利通過國家機(jī)器人檢測與評定中心(廣州)的CR認(rèn)證，獲得了國內(nèi)首張行星擺線減速器CR證書，具有代表性意義。”

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